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无尘室防护标准
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第一章 概述
1.1范围
此标准适用于所有本篇所定义之无尘室及洁净区之半导体厂。
1.2目的
本标准旨在提供无尘室避免火灾及相关危害合理的安全防护,而这些防护措施可避免或减少 人员及财产之损害。
1.3应用
此标准所考虑是以合理的预防火灾及爆炸,避免造成人员伤亡及财产之损害,此时所需考虑之环境状况及活动状态为本标准所讨论之重点;除非其它地方有所规范,否则本标准不用于要求已经安装完成设备除非在该状态下已造成生命危害或邻进近地区之财产损失。
1.4名词定义
§高架地板系统(Access Floor System)
配电盘架设于基座上以提供地面下空间供安装机械通讯或作为供风或回风空间。
§管辖权(Authority Having Jurisdiction)
组织部门或个人负责对设备安装或制程之认可,在NFPA,管辖权会随区域有所变化,可能是联邦,州,地区或地区部门,或个人可能是消防首长,副首长,州消防局长机动小组或卫生局营建部门及其它经法律授权的单位。
保险公司亦有检查权,原设计或拥有者亦有此权利。
§洁净区(Clean Zone)
定义为区间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。
§无尘室(Clean Room)
定义为房间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。
§压缩气体(Compressed Gas)
于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,绝对压力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF时绝对压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104psi;或易燃性气体在100 OF
(37.8℃)时,其蒸气压大于40psi称为压缩气体。
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