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世界各國潔淨度等級比照表
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國 名 | 美 國 | 美 國 | 日 本 | 英 國 | 德 國 | 規 格 | FS 209D | FS 209E | JIS B 9920 | BS 5295 | VDI 2083 | 年 度 | 1988 | 1992 | 1989 | 1989 | 1990 | 粒子基準 | 0.5 um | 0.5 um | 0.1 um | 0.5 um | 1 um | 單 位 | pcs/ft3 | pcs/m3 | pcs/m3 | pcs/m3 | pcs/m3 | 等 級 | - | - | 1 | - | - | - | M 1 | 2 | - | 0 | 1 | M1.5 | 3 | C | 1 | 10 | M2.5 | 4 | D | 2 | 100 | M3.5 | 5 | E~F | 3 | 1,000 | M4.5 | 6 | G~H | 4 | 10,000 | M5.5 | 7 | I | 5 | 100,000 | M6.5 | 8 | J | 6 | - | M 7 | - | K | 7 | - | - | - | L | 8 |
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