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美國聯邦標準209D潔淨室規格
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級數 | 粒子大小 | 粒子數目 | 壓力 | 溫度℃ | 風速或換氣率 | 照度 | um | Particles/ft3 | mmAg | 範圍 | 推薦值 | 誤差值 | 次/hr | lux | 1 | ≧0.5 | ≦1 | ＞1.3 | 19.4~25 | 22.2 | ±2.8 特 殊 需 求 ±1.4 | 層流方式 | 1080 ~ 1620 | ≧5.0 | 0 | 10 | ≧0.5 | ≦10 | ≧5.0 | 0 | 100 | ≧0.5 | ≦100 | ≧5.0 | ≦1 | 1,000 | ≧0.5 | ≦1000 | 亂流方式 ≧20次/hr | ≧5.0 | ≦10 | 10,000 | ≧0.5 | ≦10000 | ≧5.0 | ≦65 | 100,000 | ≧0.5 | ≦100000 | ≧5.0 | ≦700 |
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