无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格

洁净室级数（Class)	微尘粒子		压力	温度						风速与换气率（次/hr)	照度lux
	粒子大小um	粒子数目Particles/ft3	mmAg	值域℃	推薦值℃	误差值℃	最大MAX%	最小MIN%	误差%	层流方式0.35~0.55 m/s	1080 ~ 1620
1	≧0.5	≦1	＞1.3	19.4~25	22.2	±2.8 　 特 殊 需 求 ±1.4	45	30	±10 　 特 殊 需 求 ±5
	≧5.0	0
10	≧0.5	≦10
	≧5.0	0
100	≧0.5	≦100
	≧5.0	≦1
1000	≧0.5	≦1000								乱流方式≧20次/hr
	≧5.0	≦10
10000	≧0.5	≦10000
	≧5.0	≦65
100000	≧0.5	≦100000
	≧5.0	≦700

至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。

表1-2 美国联邦标准209E

洁净度等级		微尘粒子
		0.1um		0.2um		0.3um		0.5um		5um
		单位		单位		单位		单位		单位
公制	英制	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)
M1		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10.0	0.283	-	-
M1.5	1	1240	35.0	265	7.50	106	3.00	35.3	1.00	-	-
M2		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M2.5	10	12400	350	2650	75.0	1060	30.0	353	10.0	-	-
M3		35000	991	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	-	-
M3.5	100	-	-	26500	750	10600	300	3530	100	-	-
M4		-	-	75700	2140	30900	875	10000	283	-	-
M4.5	1000	-	-	-	-	-	-	35300	1000	247	7.00
M5		-	-	-	-	-	-	100000	2830	618	17.5
M5.5	10000	-	-	-	-	-	-	353000	10000	2470	70.0
M6		-	-	-	-	-	-	1000000	28300	6180	175
M6.5	100000	-	-	-	-	-	-	3530000	100000	24700	700
M7		-	-	-	-	-	-	10000000	283000	61800	1750

美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。

表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准

粒径\级数	Class1	Class2	Class3	Class4	Class5	Class6	Class7	Class8
0.1	101	102	103	104	105	106	107	108
0.2	2	24	236	2，360	23，600	-	-	-
0.3	1	10	101	1，010	10，100	101，000	1，010，000	10，100，000
0.5	-	-	35	350	3，500	35，000	350，000	3，500，000
5.0	-	-	-	-	29	290	2